报告题目：低温等离子体模拟与气体放电机理

主讲人：郑博聪 教授（北京理工大学）

报告邀请人：段萍 教授

报告时间：2023年11月23日下午13:30—15:30

报告地点：必赢766net手机版数理楼224

报告摘要：低温等离子体由于其远离平衡态的特性，可以产生较为极端的工作条件，在芯片制造（刻蚀、镀膜）、航空航天（电推进）、能源转换等领域具有重要的应用价值。本次报告将简要介绍与低温等离子体放电和数值模拟相关的基础知识，包括等离子体的基本概念、分类，一些典型的低温等离子体发生方法及其特征等。在此基础上，结合等离子体模拟的相关研究工作，介绍低温等离子体和气体放电的一些重要应用。

个人简介：郑博聪，北京理工大学物必赢766net手机版教授、博士生导师，国家自然科学基金优秀青年基金项目（海外）获得者。2016年博士毕业于大连理工大学，2017-2018年在美国密歇根州立大学从事博士后研究工作，2018-2022年在美国 Fraunhofer USA 担任研究科学家，2022年入职北京理工大学。长期致力于放电等离子体模拟软件的自主研发、气体放电机理的理论研究和等离子体技术的应用研究，包括粒子模拟、流体模型、整体模型、电子动理学、电子加热机制、玻尔兹曼方程矩分析、交叉场等离子体、等离子体不稳定性、气体放电相似定律、射频放电、物理气相沉积、空心阴极放电、大气压等离子体、等离子体-液体相互作用等。自主研发的等离子体粒子模拟软件ASTRA已成功应用于直流/射频、磁化/非磁化、低气压/大气压等放电的研究中，应用背景涵盖磁控溅射、离子源、电推进、微等离子体等重要领域。在 Plasma Sources Sci. Technol.、Phys. Rev. Appl.、Appl. Phys. Lett. 等低温等离子体和应用物理类高水平期刊发表文章50余篇。